プロセスフロー

フッ素系溶剤を用いて微細パーティクルを除去します。第1槽で浸漬洗浄、第2槽でベーパー洗浄を行うことにより、高い洗浄性と乾燥性を実現します。システムはスケールアップが可能です。

洗浄槽に多孔板を設置して洗浄剤を循環させる事により、洗浄槽内の清浄度を高めます。パーティクルの比重や水流に左右されずに、効率よく浄化する事が可能です。
1. サクションフィルターを通過した洗浄剤は、フィルタリング後に槽内に供給されます。
2. 沈降するパーティクルは、槽下部から排出されます。
3. 浮遊するパーティクルは、多孔板から中間チャンバーへ排出されます。
4. 浮上するパーティクルは、オーバーフローによって予備槽へ排出されます。
※排出される1～4のバランスは、バルブA～Cにより調節する事が可能です。

関連情報